提供最適合您的方案

奈米級精密定位平台

單軸精密定位平台

高精度交叉滾柱導軌，無鐵芯線性馬達驅動

區分LM高性能、CM省空間系列

行     程

30mm -­ 300 mm

性 能 規 格

標準、ULTRA、NANO

線性位移精度

+/- 6.0 ­ +/- 0.2 µm

雙向線性重複性

+/- 30 nm

Y軸、Z軸直線度

+/- 8.0 µm，最高+/- 1.0 µm

X、Y、Z角度誤差

+/- 12.0 ­ +/- 15.0 arc-sec

提供類比/數位增量式or ZeroMet光學尺規格選配

XY雙軸精密定位平台

高精度交叉滾柱導軌，無鐵芯線性馬達驅動

區分LM高性能、CM省空間系列

行     程

30 - 400 mm

性 能 規 格

標準、ULTRA、NANO

線性位移精度

+/- 12.0 ­ +/- 0.2 µm

雙向線性重複性

+/- 30 nm

直 線 度

+/- 10.0 ­ +/- 0.2 µm

平 面 度

+/- 10.0 ­ +/- 1.0 µm

PITCH/YAW/ROLL 誤 差

+/- 12.0 ­ +/- 20.0 arc-sec

正 交 性

+/- 1.0 ­+/- 20.0 arc-sec

XY雙軸中空精密定位平台

高精度交叉滾柱導軌，無鐵芯線性馬達驅動

區分LM高性能、CM省空間系列

行     程

30 - 400 mm

性 能 規 格

標準、ULTRA、NANO

線性位移精度

+/- 16.0 ­ +/- 0.3 µm

雙向線性重複性

+/- 50 nm

直 線 度

+/- 10.0 ­ +/- 0.3 µm

平 面 度

+/- 12.0 ­ +/- 1.0 µm

PITCH/YAW/ROLL 誤 差

+/- 10.0 ­ +/- 20.0 arc-sec

正 交 性

+/- 1.0 ­ +/- 20.0 arc-sec

Micron 2滾珠導軌精密平台

低成本、高精度、長行程線性平台

無鐵芯線性馬達驅動

行     程

100 - 1000 mm

性 能 規 格

標準、ULTRA、NANO

線性位移精度

+/-200.0 ­ +/- 1.0 µm

雙向線性重複性

+/- 0.5 µm

有 效 負 載

最高可達100 kg

加 速 度

2.0 G -4.0 G

直 線 度

+/- 50.0 ­ +/- 3 µm

平 面 度

+/- 200.0 ­ +/- 3 µm

適用於Cartesian龍門系統

旋轉精密定位平台

交叉滾柱軸承

直驅力矩馬達驅動

性 能 規 格

標準、ULTRA、NANO

連 續 推 力

0.21 ­ 15.16 Nm

瞬 間 推 力

0.66 - 48.12 Nm

連 續 電 流

2.31 - 6.06 Arms

瞬 間 電 流

7.31 ­ 19.14 Arms

精 度

+/- 3 arc-sec

雙向重複性

+/- 0.7 ­ +/- 0.2 arc-sec

軸向/徑向偏差

+/- 7.5 ­ +/- 1.5 µm

擺 動 偏 差

+/- 12.5 ­ +/- 2.5arc-sec

奈米級精密定位平台

Z軸垂直精密定位平台

組件配重對稱平台中心線設計

音圈或線性馬達驅動

行     程

6、24 mm，30、50 mm

性 能 規 格

標準、ULTRA、NANO

線性位移精度

+/- 6.0 ­ +/- 0.2 µm

雙向線性重複性

+/- 30 nm

X軸、Y軸直線度

+/- 5.0 um，最高+/- 1.0 µm

X、Y、Z角度誤差

+/- 10.0 ­ +/- 12.0 arc-sec

Z軸空氣軸承精密定位平台

空氣軸承專利設計，組件配重對稱平台中心線設計

無鐵芯線性馬達驅動

行     程

60 ­ 200 mm

性 能 規 格

標準、ULTRA、NANO

線性位移精度

+/- 3.0 ­ +/- 0.2 µm

雙向線性重複性

+/- 75、45 nm

X軸、Y軸直線度

+/- 3.0 um，最高+/- 1.0 µm

X、Y、Z角度誤差

+/- 4.0 ­ +/- 15.0 arc-sec

史都華精密定位平台

6個自由度專利設計(X/Y/Z,Pitch,Roll,Yaw)

結合XY軸及旋轉精密定位平台，無鐵芯線性馬達和直驅力矩馬達驅動

X軸、Y軸行程

100-300 mm

Z軸行程

6-206 mm

Pitch、Roll角度移動量

+/- 3°­ +/- 18°

Yaw角度移動量

360°

線性分辨率

~5 nm

角度分辨率

0.01–0.04 arc-sec

客製規格-龍門平台系統

客製規格-空氣軸承精密定位平台

客製規格解決方案

客製規格-雲台系統

客製規格-真空應用史都華平台

客製規格解決方案