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運動控制系統及元件


 

多孔性陶瓷真空吸盤
Porous Ceramic Chuck Table
 
創新技術的革命性產品

★多孔質陶瓷及金屬
★真空吸盤
★氣浮元件
 
材質特性
♦ 高精度、可局部區域性吸附
   孔徑極小，可達微米 ~ 次微米，耗氣量少且吸附力強，
   局部吸附亦可，不會因此產生破真空的狀況
 
♦ 孔隙度均勻、吸附力很強、可承載荷重
 
♦ 高溫燒結、耐磨耗、高硬度、耐化學腐蝕、不發塵特性，
   氧化鋁材質，經由 1500℃ 以上高溫完全燒結，不易產生發塵
 
♦ 有均勻吸附的特性，吸附物可維持很好的平坦度，
   吸附物不變型，薄膜及類似等薄物件吸附尤佳
 
♦ 除靜電特性，抗靜電陶磁吸盤，
   客製特定阻抗陶瓷板，於吸附元件時同步消除靜電
 
♦ 接受客製化設計、訂做陶瓷吸盤
 
加工簡介
✓ 產品孔徑：3µm~12µm，可應用於各種特殊用途
✓ 尺寸：單片 600x520 mm，組合尺寸可達 2x2 m 以上
✓ 高平面度：可依尺寸達 0.003~0.05 mm
✓ 孔隙率： 35~40%
✓ 底座：材質可搭配陶瓷、石材、不銹鋼、鋁合金、鈦合金….各式金屬（可來電詢問）
✓ 顏色：黑、白、咖啡色
✓ 形狀：可客製化
✓ 加熱需求：內部可客製化，加裝熱控溫相關設計（最高溫度 180℃）
✓ 特殊多孔陶瓷：可製作低電阻值、高抗靜電性佳的特殊多孔陶瓷（低電阻值：104~106 Ω/cm ）
 
♦ 可依客戶需求, 提供各廠牌的陶瓷吸盤維修、二次加工
 
 
♦應用產業領域
 

·非磁性超薄材料精密加工

·光學檢測設備

·印刷電路板

·光電面板

·觸控面板

·偏光板

            ·薄膜                         

            ·晶片

            ·鏡片

            ·晶圓

            ·貼膜機

            ·撕膜機
 
 

多孔性陶瓷真空吸盤

異形工件有多處孔洞，在無法全面覆蓋的情況下進行吸附的動作，
達成穩定吸附的效果。
 
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