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多孔性陶瓷真空吸盤
Porous Ceramic Chuck Table
 
創新技術的革命性產品

多孔質陶瓷及金屬
真空吸盤
氣浮元件
 
材質特性
高精度、可局部區域性吸附
   孔徑極小,可達微米 ~ 次微米,耗氣量少且吸附力強,
   局部吸附亦可,不會因此產生破真空的狀況
 
孔隙度均勻、吸附力很強、可承載荷重
 
高溫燒結、耐磨耗、高硬度、耐化學腐蝕、不發塵特性,
   氧化鋁材質,經由1500℃以上高溫完全燒結,不易產生發塵
 
有均勻吸附的特性,吸附物可維持很好的平坦度,
   吸附物不變型,薄膜及類似等薄物件吸附尤佳
 
除靜電特性,抗靜電陶磁吸盤,
   客製特定阻抗陶瓷板,於吸附元件時同步消除靜電
 
♦ 接受客製化設計、訂做陶瓷吸盤
 
加工簡介
產品孔徑:0.5mm~50mm,可應用於各種特殊用途
尺寸:單片600x520 mm,組合尺寸可達2x2 m 以上
高平面度:可依尺寸達0.003~0.05 mm
孔隙率: 35~40%
底座:材質可搭配陶瓷、石材、不銹鋼、鋁合金、鈦合金….各式金屬(可來電詢問)
顏色:黑、白、咖啡色
形狀:可客製化
加熱需求:內部可客製化,加裝熱控溫相關設計(最高溫度200℃)
特殊多孔陶瓷:可製作低電阻值、高抗靜電性佳的特殊多孔陶瓷(低電阻值:104~106 W/cm )
 
♦ 可依客戶需求, 提供各廠牌的陶瓷吸盤維修、二次加工
 
 

多孔性陶瓷真空吸盤

異形工件有多處孔洞,在無法全面覆蓋的情況下進行吸附的動作,
達成穩定吸附的效果。

 

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