Harmonic Drive® DC Servo Actuator

高解析度・零背隙・DC 伺服
RH Series Rotary Actuator

RH 系列結合了精密控制用 Harmonic Drive® 減速機與高性能 DC 伺服馬達。具備高響應性、小型化與高轉矩特性,是半導體設備、檢測儀器與機械手臂的理想驅動源。

RH Series Structure

三位一體整合設計

減速機 + DC 馬達 + 編碼器。

精密控制的核心

RH 系列將 Harmonic Drive® 精密減速機、高響應 DC 伺服馬達 與高精度 光學編碼器 完美整合於緊湊的機身中。

這種一體化設計消除了機構間的組裝誤差,確保了從指令到動作的完美同步,特別適合需要快速啟停與精確定位的應用場合。

Compact Size High Torque

小體積,高解析

最高 400,000 p/rev 解析度。

極致小型化與零背隙

即使是最小型號 RH-5A (外徑僅 20mm),也能輸出強大的瞬間轉矩。

受惠於 Harmonic Drive® 的特性,全系列皆具備 零背隙 (Zero Backlash) 優勢。配合高解析度編碼器,可達到最高 400,000 脈衝/轉 (0.0009°/脈衝) 的控制精度,遠超同級產品。

產品型號與規格

RH-5A (微型)
極致微型致動器
RH-5A

系列中最小型號,適合微型機器人手指與精密儀器。

外徑尺寸 Ø20 x 89 mm
瞬間最大轉矩 0.69 Nm
最高轉速 60 r/min
編碼器 光學式 (2相/矩形波)
RH-8 / 11 / 14 / 17
標準型 DC 伺服
RH Standard Series

提供多種尺寸選擇,具備高剛性輸出軸承。

減速比 50, 80, 100
最大轉矩 3.4 ~ 39 Nm
最高解析度 400,000 p/rev
軸承結構 高剛性支撐軸承
RH-20 / 25 / 32
高出力型 DC 伺服
RH High Power

大型號提供極高轉矩,適合重負載驅動。

減速比 50, 80, 100
最大轉矩 高達 300 Nm 以上
馬達類型 專用高性能 DC 馬達
應用 大型旋轉台, 機械手

主要應用市場

Semiconductor
半導體製造設備

高潔淨度與高響應控制,適合晶圓製程。

Optical Alignment
精密光學對位

零背隙特性確保光學元件的絕對定位精度。

Robot Joint
小型機器人關節

高轉矩密度與小型化設計,實現靈活運動。