New Way

NEW WAY 球面氣浮軸承

介紹

球面氣浮軸承採用 多孔介質技術™(Porous Media Technology™) 製成,可在堅硬的氣墊上支撐球體。球杯也可以預先加載真空,以提升定位精度。

New Way 的所有氣浮軸承均由 多孔碳基材 製成。穿過材料的數百萬個亞微米級通道自然地限制氣流,使氣體在軸承表面形成均勻、堅硬的氣墊。由於孔洞在軸承表面上均勻分佈,與孔板式氣浮軸承不同,不會產生壓力梯度,因此避免了碰撞的發生。

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無塵室相容(Clean Room Compliant)

球面氣浮軸承中多孔介質的獨特應用,使其成為潔淨室環境的理想選擇。與孔板式氣浮軸承相比,球面氣浮軸承所需的氣流更少,且氣體經由多孔介質均勻分佈。這兩項特性可最大限度地減少潔淨室內氣流渦流的形成及其對生產造成的破壞性影響。

多孔介質的另一個優點是可作為 亞微米級過濾器,對排放的氣體進行過濾。測試結果顯示,該軸承符合 Class 1(ISO Class 3)潔淨度 要求,懸浮微粒濃度低於 1,000 × 0.1μm 顆粒/立方公尺
 

客製化球面氣浮軸承

此外,New Way 也提供 客製化球面氣浮軸承,可依您的特定規格進行設計與製造。
歡迎隨時與我們聯繫,告訴我們您的應用需求。


 

Comparision Table
Datasheet 3D圖面 Part # Diametermm Tmm R Minmm R Maxmm Bmm Cmm Kmm Mmm Nmm Load at 5μm StiffnessN/μm FlowSLPM Bearing
下載檔案   S36200R 200 mm 70 mm 200 mm 1000 mm 25 mm 31.75 mm 60.7 mm 38.10 mm 3 mm 6672 N 700 N/μm 4.80 SLPM 4906 gm
下載檔案   S36150R mm 150 mm 50 mm 150 mm 750 mm 25 mm 16.00 mm 41.5 mm 38.10 mm 3 mm 3692 n 350 N/μm 5.10 SLPM 2092 gm
下載檔案   S36125R 125 mm 35 mm 125 mm 625 mm 20 mm 6.35 mm 25.9 mm 31.75 mm 3 mm 2046 N 254 N/μm 7.60 SLPM 1033 gm
下載檔案   S36100R 100 mm 25 mm 100 mm 500 mm 20 mm 6.35 mm 15.9 mm 31.75 mm 3 mm 1290 N 175 N/μm 4.30 SLPM 440 gm
下載檔案   S3680R 80 mm 20 mm 80 mm 400 mm 13 mm 4.60 mm 12.3 mm 21.59 mm 3 mm 801 N 114 N/μm 4.80 SLPM 235 gm
下載檔案   S3665R 65 mm 20 mm 65 mm 325 mm 13 mm 4.60 mm 12.3 mm 21.59 mm 3 mm 489 N 87 N/μm 2.20 SLPM 151 gm
下載檔案   S3650R 50 mm 13 mm 50 mm 250 mm 13 mm 1.50 mm 5.3 mm 21.59 mm 3 mm 289 N 58 N/μm 2.00 SLPM 62 gm
下載檔案   S3640R 40 mm 13 mm 40 mm 200 mm 13 mm 1.50 mm 5.3 mm 21.59 mm 3 mm 178 N 28 N/μm 1.79 SLPM 35 gm
下載檔案   S3625R 25 mm 13 mm 25 mm 125 mm 13 mm 1.50 mm 6.6 mm NA NA 49 N 18 N/μm 1.04 SLPM 14 gm
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