產品資訊
New Way
NEW WAY 球面氣浮軸承
介紹
球面氣浮軸承採用 多孔介質技術™(Porous Media Technology™) 製成,可在堅硬的氣墊上支撐球體。球杯也可以預先加載真空,以提升定位精度。
New Way 的所有氣浮軸承均由 多孔碳基材 製成。穿過材料的數百萬個亞微米級通道自然地限制氣流,使氣體在軸承表面形成均勻、堅硬的氣墊。由於孔洞在軸承表面上均勻分佈,與孔板式氣浮軸承不同,不會產生壓力梯度,因此避免了碰撞的發生。
無塵室相容(Clean Room Compliant)
球面氣浮軸承中多孔介質的獨特應用,使其成為潔淨室環境的理想選擇。與孔板式氣浮軸承相比,球面氣浮軸承所需的氣流更少,且氣體經由多孔介質均勻分佈。這兩項特性可最大限度地減少潔淨室內氣流渦流的形成及其對生產造成的破壞性影響。
多孔介質的另一個優點是可作為 亞微米級過濾器,對排放的氣體進行過濾。測試結果顯示,該軸承符合 Class 1(ISO Class 3)潔淨度 要求,懸浮微粒濃度低於 1,000 × 0.1μm 顆粒/立方公尺。
客製化球面氣浮軸承
此外,New Way 也提供 客製化球面氣浮軸承,可依您的特定規格進行設計與製造。
歡迎隨時與我們聯繫,告訴我們您的應用需求。

| Comparision Table | |||||||||||||||
| Datasheet | 3D圖面 | Part # | Diametermm | Tmm | R Minmm | R Maxmm | Bmm | Cmm | Kmm | Mmm | Nmm | Load at 5μm | StiffnessN/μm | FlowSLPM | Bearing |
| 下載檔案 | S36200R | 200 mm | 70 mm | 200 mm | 1000 mm | 25 mm | 31.75 mm | 60.7 mm | 38.10 mm | 3 mm | 6672 N | 700 N/μm | 4.80 SLPM | 4906 gm | |
| 下載檔案 | S36150R mm | 150 mm | 50 mm | 150 mm | 750 mm | 25 mm | 16.00 mm | 41.5 mm | 38.10 mm | 3 mm | 3692 n | 350 N/μm | 5.10 SLPM | 2092 gm | |
| 下載檔案 | S36125R | 125 mm | 35 mm | 125 mm | 625 mm | 20 mm | 6.35 mm | 25.9 mm | 31.75 mm | 3 mm | 2046 N | 254 N/μm | 7.60 SLPM | 1033 gm | |
| 下載檔案 | S36100R | 100 mm | 25 mm | 100 mm | 500 mm | 20 mm | 6.35 mm | 15.9 mm | 31.75 mm | 3 mm | 1290 N | 175 N/μm | 4.30 SLPM | 440 gm | |
| 下載檔案 | S3680R | 80 mm | 20 mm | 80 mm | 400 mm | 13 mm | 4.60 mm | 12.3 mm | 21.59 mm | 3 mm | 801 N | 114 N/μm | 4.80 SLPM | 235 gm | |
| 下載檔案 | S3665R | 65 mm | 20 mm | 65 mm | 325 mm | 13 mm | 4.60 mm | 12.3 mm | 21.59 mm | 3 mm | 489 N | 87 N/μm | 2.20 SLPM | 151 gm | |
| 下載檔案 | S3650R | 50 mm | 13 mm | 50 mm | 250 mm | 13 mm | 1.50 mm | 5.3 mm | 21.59 mm | 3 mm | 289 N | 58 N/μm | 2.00 SLPM | 62 gm | |
| 下載檔案 | S3640R | 40 mm | 13 mm | 40 mm | 200 mm | 13 mm | 1.50 mm | 5.3 mm | 21.59 mm | 3 mm | 178 N | 28 N/μm | 1.79 SLPM | 35 gm | |
| 下載檔案 | S3625R | 25 mm | 13 mm | 25 mm | 125 mm | 13 mm | 1.50 mm | 6.6 mm | NA | NA | 49 N | 18 N/μm | 1.04 SLPM | 14 gm | |