service-13
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各式滑台/高精度平台

全氣浮龍門平台

介紹

產品應用：PCB 產業

  • X 軸最大速度：300 mm/sec

  • Y 軸最大速度：1000 mm/sec

  • 直線度：3 μm／1.7 m（花崗岩基座）

  • 正交度：±2.5 角秒（±0.00069°）

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