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Direct Drive Motion Solution
Alljet 高精密線性馬達模組
Alljet 高精密線性馬達模組
單軸直驅 · 極速定位 · 亞微米精度
Alljet 單軸線性馬達模組結合無鐵芯馬達的高速特性與精密導軌技術。取代傳統螺桿傳動，消除背隙與磨損問題，為半導體、面板與生技產業提供最穩定、免維護的運動核心。
Ironless Zero Cogging (無鐵芯結構)
傳統線性馬達常因磁吸力產生齒槽效應 (Cogging Force)，影響低速平穩性。豪捷選用優質無鐵芯線圈技術，動子與定子間無磁吸力，確保速度波動率小於 0.1%，極適合需要恆速掃描的 AOI 光學應用。
< 0.1% Velocity Ripple
長行程擴展性
不同於滾珠螺桿受限於轉速與臨界速度，線性馬達模組定子可無限拼接。無論是 500mm 還是 5000mm 的超長行程，皆能維持一致的高動態表現，且不犧牲定位精度。
最高加速度
3G ~ 5G
模組化機構設計 (Modular Integration)
提供 U 型 (U-Channel) 與 平板型 (Flat-bed) 多種配置。模組底座經過應力消除與精密加工，可直接安裝於花崗岩平台或鋁擠型架構中，大幅縮短客戶開發機台的組裝週期。
線性馬達模組技術參數 (Specifications)
Performance
| 最高速度 | Up to 3000 mm/sec |
| 最大加速度 | 30 ~ 50 m/s² |
| 持續推力 (Fc) | 30N ~ 800N |
| 峰值推力 (Fp) | 120N ~ 2400N |
Accuracy
| 光學尺解析度 | 0.1μm / 0.5μm / 1.0μm |
| 重複定位精度 | ±0.5 ~ ±1.5μm |
| 絕對定位精度 | ±3.0μm / 1000mm |
| 速度平穩性 | < 0.1% @ 100mm/s |
Mechanical
| 導軌類型 | 精密滾珠導軌 / 氣浮軸承 |
| 模組寬度 | 80mm / 120mm / 170mm |
| 最大行程 | 客製化拼接 (Max. 6m+) |
| 無塵室等級 | ISO Class 4 (Standard) |
重點應用場景
半導體晶圓檢測
高頻率往復運動下的極短整定時間，是提高晶圓檢測 UPH 的關鍵。
高速取放與分選 (Pick & Place)
取代傳統皮帶，提供更高的剛性與重複精度，減少維護週期。
數位噴墨與掃描
零頓振線性馬達確保勻速前進，防止噴頭運動抖動造成的影像失真。