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LINEAR MOTOR DRIVEN SYSTEM
雙軸堆疊型 X-Y STAGE
雙軸堆疊型 X-Y STAGE
高速度、高精度應用的首選方案
Alljet 雙軸堆疊平台整合了高剛性導軌與先進線性馬達驅動技術，為半導體、PCB、AOI 檢測與雷射加工提供極致的定位表現與長期穩定性。
多元驅動方案 (Motor Options)
根據您的負載與精度需求，提供靈活的配置：選用「無鐵芯線性馬達」以消除頓振 (Cogging) 實現平穩運動，或選用「鐵芯式線性馬達」以提供強大的加減速推力。
800 mm/s Maximum Speed
工業級防塵與防護
針對雷射加工或高落塵環境，平台可搭配伸縮防塵護罩或不銹鋼帶防塵機構，確保內部精密零件壽命。
環境對應
Cleanroom Ready
高精對位 & 視覺整合
Alljet 專精於平台與視覺對位系統的垂直整合，針對 PCB 自動化定位噴印或半導體曝光製程，提供 ±1μm 重覆精度的穩定運動基座。
技術規格 (Technical Data)
Performance
| 重覆精度 | ±0.5 ~ ±1.5 μm |
| 絕對精度 | ±1.5 ~ ±2.5 μm |
| 最大速度 | 300 ~ 800 mm/sec |
| 回授解析度 | 0.1 μm / 50 nm |
Mechanical
| 驅動方式 | Linear Motor (Ironless/Iron) |
| 導軌類型 | Precision Linear Guide |
| 底座材質 | Aluminum / Steel / Granite |
| 可加裝軸向 | θ Axis / Z Axis |
核心應用領域 (Applications)
AOI 自動光學檢測
高穩定性的等速運動，確保影像抓取品質與不失真。
雷射精密加工
適用於微鑽孔、切割與標刻，提供高動態軌跡控制。
半導體與封裝製程
奈米級精度回饋，符合晶圓與載板的高精度對位。