各式滑台/高精度平台

奈米精度對位定位平台

介紹

精密交叉滾柱/ 可達奈米精度
高剛性
平面度穩定
光學尺
可另搭配θ軸
可選用 鐵芯式/無鐵芯式線馬
應用:AOI、雷射加工……等
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