NANO-PRECISION STAGE

精密交叉滾柱平台
奈米級運動控制模組

結合高剛性機械結構與先進線性馬達技術，為自動化檢查與精密加工提供極致穩定的平面度與對位精度。

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極致定位精度
搭載精密光學尺回授系統，重複定位精度可達奈米級。搭配精密交叉滾柱導軌，有效抑制運動行程中的偏擺與震動，確保平面度高度穩定。
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高剛性結構設計
專為高負載與高速應用設計，結構剛性優化，即使在頻繁往復運動下仍能維持長期的幾何精度不偏移。

產品核心規格 (Standard Specifications)

精密平台技術參數概覽
驅動方式 線性馬達 (可選 鐵芯式 / 無鐵芯式)
導軌結構 精密交叉滾柱導軌 (高剛性)
回授系統 奈米級精度光學尺
擴充性 支援搭配 θ 軸旋轉模組
穩定度 平面度穩定性優化
下載詳細技術手冊 (PDF)

行業應用實績 (Industry Applications)

AOI 自動光學檢查
AOI 自動光學檢查
憑藉穩定的平面度與奈米級精度，為晶圓檢測與面板掃描提供清晰且精準的對焦環境。
精密雷射加工
精密雷射加工
在高剛性平台的支撐下，實現高速且高細緻度的微雷射切削與蝕刻。