Harmonic Drive® Direct Drive Motor

超高解析度・高精度・大中空徑
KDU Series Direct Drive Motor

KDU 系列直接驅動馬達追求極致的解析度與精度。搭載 11,840,000 分割/轉的高解析度編碼器,重複定位精度達 ±0.5 arc-sec,並具備φ50mm 的大口徑中空軸,是半導體與超精密加工設備的首選 。

High Precision Performance

千萬級解析度

11,840,000 p/rev,定位無比細膩 [cite: 30]。

超越極限的定位精度

KDU 系列專為超精密定位而生。透過整合高精度的增量式編碼器,實現了 ±0.5 arc-sec 的重複定位精度與 10 arc-sec 的絕對定位精度。

伺服鎖定時的停止穩定性控制在 ±2 脈衝 (±0.22 arc-sec) 以內,確保在高倍率檢測或微細加工中,馬達能夠穩如泰山 。

Large Hollow Shaft

φ50mm 大中空徑

馬達外徑φ130mm,實現高空間利用率 [cite: 70, 71]。

便利配線與高剛性軸承

儘管馬達外徑僅有 130mm,KDU 系列卻提供了 φ50mm 的大口徑中空孔,方便複雜的線纜、氣管或光學元件穿過 。

內部採用高剛性的交叉滾柱軸承 (Cross Roller Bearing),能同時承受高徑向力與軸向力,輸出軸端面偏移控制在 2μm 以內,確保旋轉平台的極致平穩 。

型號規格詳情

KDU-13WB (高轉矩型)
適合高加減速應用
Harmonic Drive KDU
最大轉矩 15.0 N·m
額定轉矩 7.0 N·m
最高轉速 127 r/min
解析度 11,840,000 p/rev
重複定位精度 ±0.5 arc-sec
絕對定位精度 10 arc-sec
重量 5.0 kg
KDU-13SB (標準型)
輕量化與高速應用
Harmonic Drive KDU
最大轉矩 7.0 N·m
額定轉矩 1.5 N·m
最高轉速 127 r/min
解析度 11,840,000 p/rev
重複定位精度 ±0.5 arc-sec
絕對定位精度 10 arc-sec
重量 4.0 kg

主要應用市場

Semiconductor Inspection
半導體檢測設備

千萬級解析度與極低抖動,滿足晶圓表面檢測需求。

Optical Aligner
精密光學對位

±0.5 arc-sec 重複精度,確保光路系統精準對焦。

Machine Tool Indexer
工具機分度盤

高剛性交叉滾柱軸承,可直接承受加工負載。