Subsystem & Stage Modules

次系統設備與精密對位平台
客製化運動控制解決方案

提供由單軸到多軸堆疊的完整精密平台方案，支援橋式、龍門、跳水檯式等多元架構，滿足半導體、PCB、AOI 等高精度應用場景。

多樣化驅動技術整合
可依據應用需求，彈性選擇鐵芯/無鐵芯線性馬達、滾珠螺桿或同步皮帶，並支援多廠牌驅動品牌整合，提供最優化的動力輸出。
±1 μm 垂直偏擺精度
結構配置與材質

  • 花崗岩

  • 鋁擠型材

  • 焊接骨架

可搭架構形式

  • 橋式

  • 龍門同步型

  • 跳水台式架構

奈米級定位能力
全系列平台均可選配精密光學尺回授，並採用精密交叉滾柱導軌，確保在高負載下仍能維持極高的重複定位精度。

產品系列規格詳情 (Specifications)

X-Y 精密線性對位平台
Precision Alignment Stage
X-Y 精密線性對位平台

高剛性設計，適用於奈米級定位精度之應用。

驅動方式 鐵芯 / 無鐵芯線馬
導軌類型 精密交叉滾柱導軌
回授系統 光學尺回授
客製選項 θ 軸旋轉模組
AOI 雷射微加工
下載規格書
Z 軸精密平台 (Z-Stage)
Vertical Precision Stage
Z 軸精密平台

針對垂直運動優化，提供極佳的偏擺控制。

驅動方式 滾珠螺桿 / 線馬
垂直偏擺 ±1μm
回授系統 光學尺回授
負載能力 高荷重設計
對位貼合 焦距控制
下載規格書
單軸 Stage
Single-Axis Module
單軸 Stage

高速度、高加減速之單軸直線運動單元。

驅動方式 線馬 / 螺桿 / 皮帶
行程範圍 彈性客製長行程
回授系統 可選配光學尺
附屬配件 真空吸盤 / θ軸
自動移載 精密組裝
下載規格書

行業應用實績 (Industry Applications)

半導體製程
半導體與生技設備
針對高潔淨度與極高定位精度要求的製程，提供穩定的次系統平台支援。
PCB 製造
PCB 與電子組裝
適用於電路板製造、被動元件對位及高速 AOI 光學檢測系統。
雷射加工
精密雷射加工
支援多軸同步動態控制，滿足雷射微加工與掃描式製程需求。

相關整合組件 (Related Components)

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控制系統
SPiiPlus 全系列運動控制器 支援多軸同步與 EtherCAT 高速通訊，完美搭配精密平台模組。
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