次系統設備（客製）

次系統設備（客製整合）

結構與組合配置

• 支援結構材質：花崗岩、鋁擠型材、焊接骨架
• 可搭架構形式：
  • 橋式
  • 龍門同步型
  • 跳水檯式架構
• 行程範圍可客製，支援長行程應用

驅動方式（可選）

• 鐵芯式線性馬達
• 無鐵芯式線性馬達
• 滾珠螺桿
• 同步皮帶

驅動品牌可指定（支援多廠牌整合）

應用產業實績

• 生技設備
• 半導體製程
• PCB 電路板製造
• 被動元件檢測／對位設備

各類平台模組介紹

X-Y 精密線性對位平台

• 採用精密交叉滾柱導軌
• 高剛性設計，奈米級定位精度
• 光學尺回授
• 可選配 θ 軸旋轉模組
• 鐵芯／無鐵芯線馬皆可搭配

應用範例：AOI、自動光學檢查、雷射微加工

雙軸堆疊型 X-Y Stage

• 高速、高精度、高彈性堆疊型設計
• 光學尺回授，支援防塵防護設計
• 可選配 θ 軸，支援各式線性馬達

應用範例：AOI、自動對位、雷射加工系統

Z 軸精密平台（Z-Stage）

• 高剛性交叉滾柱導軌
• 垂直偏擺控制 ±1μm
• 驅動方式：滾珠螺桿（可選配線馬）
• 高荷重設計，支援光學尺回授

應用範例：Z 軸對位貼合、焦距控制、AOI 垂直掃描

單軸 Stage

• 支援高速度與高加減速運動需求
• 可搭配光學尺、θ 軸、真空吸盤
• 驅動方式多樣：鐵芯式／無鐵芯式線馬／螺桿
• 多規格可客製：行程、負載、長度皆可彈性設計

應用範例：自動移載、精密對位、組裝設備