產品資訊
PM
PM B.V. 精密線性軸承定位平台
線性組件(Linear Components)
RSD/RSDE/RNG 系列
- RSD:交叉滾柱導軌,適用於短/中行程,高精度與穩定性。
- RSDE:深溝V型設計,提升剛性與負載能力,提供 ACC防止滾柱偏移技術。
- RNG:緊湊型版本,具備高承載與剛性,適合安裝空間受限處。
針狀滾柱型 N/O & M/V 系列
- 高剛性與線性精度,適用於工具機、研磨機等高負載應用。
- 三等級精度(Q8、Q4、Q2)可選。
線性滑軌(Linear Slides)
RTA / RT / RTNG / RTS / PMM / MSR / PMMR 系列
- RTA/RT:提供無摩擦滑動、預壓與預潤滑,具備高剛性與精密性。
- RTNG:專為含塵環境設計,密合防護。
- RTS/PMM:迷你型滑台,適用於微小精密運動,具低摩擦與不鏽鋼材質。
- MSR/PMMR:搭載抗滾柱偏移技術,重複精度高,支援UHV真空應用。
旋轉軸承(Rotary Bearings)
RPM / FMB / Custom Bearings
- RPM:徑向定位軸承,適用於弧形運動,高精度與低摩擦。
- FMB:薄型精密轉盤軸承,外徑最高達 500mm。
- 提供 客製化版本,包括真空、高負載或混合設計等。
複合定位系統(Motion Systems)
XY2Z-Theta / Chi-Phi-XYZ / 五軸Cleanroom平台
- 針對晶圓檢測與量測應用設計,可依需求提供 5 ~ 7 軸自由度。
- 搭載 RSDE、滾珠循環等技術,提供最佳剛性與精度。
- 可整合抗震功能,支援潔淨室Class 6以上環境。
特色技術亮點
- Anti-Cage Creep (ACC):防止滾柱偏移,穩定高動態運動。
- 全不鏽鋼設計:適用於腐蝕性、真空等特殊環境。
- 微型與高載兼容:從奈米級操作到高剛性工業應用皆有對應方案。
- 工廠預壓/潤滑設計:即裝即用,精度穩定。