ALIO Hybrid Hexapod史都華平台

MINI Hybrid Hexapod

• 應用：相機模組對準、微型鏡頭整合（手機、無人機）、光學元件黏著
• 特色：
  • 提供 6-DOF 精密定位
  • 適合奈米級與弧秒級的微調需求
  • 高穩定性與可重複性，支援高解析感測器對準作業

Angulares™ Hybrid Hexapod

• 最大亮點：±30° 傾斜範圍（總行程 60°），是市場上最大角度範圍的 6-DOF 平台之一
• 關鍵性能：
  • 無限 XY 行程，Z 行程最高可達 208 mm
  • 連續 360° Theta-Z 旋轉
  • 雙向重複精度 < ±0.6 arc-sec
  • 最小位移解析度：線性 < 10 nm，角度 < 0.1 arc-sec
  • 速度：XY/Z 軸可達 100 mm/s
• 應用：非球面/自由曲面光學檢測、雷射微加工、光纖對準、晶圓量測、感測器模組裝等

🔹 真空應用版本

• 環境適應性：
  • 可提供 HV（10⁻⁷ Torr）或 UHV（10⁻¹⁰ Torr）版本
  • 所有材料皆使用低釋氣組件並經過烘烤處理
• 適用平台類型：
  • 線性、旋轉、XY中空、六腳架（Hexapod）、三腳架、測角儀等
• 應用場景：半導體、太空/物理實驗、光學檢測真空艙