Theta旋轉平台

Mechanical Rotary Stages（交叉滾柱軸承旋轉平台）

• 設計特色：
  • 採用高剛性 交叉滾柱軸承，支撐偏載效果優異
  • 搭載 無框伺服扭矩馬達，提供高精度與高加速度動態控制
  • 軸承與金屬件安裝於極平坦表面，確保加工與定位精度
  • 搭配 ALIO 控制器可實現 重複性達 ±0.2 arc-sec
• 跳動精度：
  • 標準軸承跳動為 13–20 μm
  • 選配型號可降至 <5 μm
• 尺寸與應用：
  • 馬達尺寸覆蓋 Ø80mm 到 Ø300mm
  • 支援真空旋轉接頭與真空卡盤

Air Bearing Rotational Stages（空氣軸承旋轉平台）

• 適用場景：
  • 對跳動與精度有極高要求的應用
• 特色：
  • 提供不同剛性與成本配置
  • 可滿足奈米等級的旋轉精度應用需求

Vacuum-Compatible Stages（真空應用旋轉平台）

• 應用歷史與適用範圍：
  • ALIO 早於 2001 年即開發真空型旋轉平台
  • 適用 大氣至超高真空 環境
• 技術特點：
  • 提供多種扭矩與精度選項
  • 適用平台直徑：Ø50mm 至 Ø200mm
  • 支援真空卡盤整合應用