ALIO 奈米 Z軸定位平台

Patented NANO Z

• 應用目標：奈米級精度量測與加工
• 驅動：氣浮導軌 + Renishaw 銦鋼編碼器
• 特點：
  • 精度小於 100 nm
  • 行程 > 24 mm 仍保持奈米級精度
  • 可搭配重型真空晶圓夾頭

Mechanical Bearing Z Stage

• 驅動類型：線性或音圈馬達
• 導軌：高剛性交叉滾柱導軌
• 設計優勢：
  • 氣浮配重，提升動態響應
  • 馬達、導軌、編碼器與配重設於中心線，減少共振與誤差
  • 可直接安裝載物，避免支架干擾

Compact Voice Coil Z Stage

• 結構優勢：
  • 高度低、體積小
  • 精度為傳統楔形平台的 4～8 倍
  • 高剛性導軌與氣浮配重
  • 適用空間受限且需高精度應用

Z Tracking Stages

• 行程範圍：6–25 mm
• 驅動方式：線性馬達、音圈、滾珠螺桿皆可
• 性能：
  • 快速步進定位（如：100 µm in 20 ms 到 ±0.1 µm）
  • 提供氣動、磁性或彈簧配重

Linear Motor Counterbalanced Z Stage

• 專利設計：奈米級精度 + 同軸配重
• 配重系統：雙氣缸無摩擦配重
• 優點：無 Abbé 誤差，動態表現穩定

Air Bearing Z Stage

• 底座：花崗岩，確保平台平整度
• 導軌：氣浮式 + 高剛性 + 奈米級精度
• 設計細節：
  • 雙氣缸配重同軸安裝
  • 可調整配重中心以避免偏移
  • 適用高負載、超高精度需求

Vertical Mount XY Stage System

• 驅動：線性/壓電伺服馬達
• 導軌：交叉滾柱
• 補償：單/雙氣缸配重
• 適用：垂直安裝的 XY 精密定位

共通優勢

• 高剛性設計，重載/高精度兼顧
• 核心組件同軸配置，最小化偏移與誤差
• 全系列支援奈米級解析度與重複定位精度