ALIO奈米級精密定位平台

單軸與雙軸定位平台

單軸定位平台

• 導軌：交叉滾柱 + 無鐵芯線性馬達
• 行程：30–300 mm
• 重複性：±30 nm
• 線性精度：±6.0 ～ ±0.2 µm
• 選配：類比/數位光學尺（ZeroMet 可選）

XY雙軸定位平台

• 行程：30–400 mm
• 平面度/直線度：最低 ±0.2 µm
• 正交性：±1.0 ～ ±20.0 arc-sec
• 應用：高精度對位、平面掃描、半導體檢測

XY雙軸中空平台

• 行程：30–400 mm
• 中空設計：方便走線或光路穿透
• 重複性：±50 nm

長行程線性平台

Micron 2滾珠導軌平台

• 行程：100–1000 mm
• 重複性：±0.5 µm
• 負載能力：最大 100 kg
• 加速度：2.0–4.0 G
• 適用於 Cartesian 龍門系統

Z軸平台

Z軸垂直平台

• 驅動方式：音圈或線性馬達
• 行程：6、24、30、50 mm
• 精度/重複性：±0.2 µm / ±30 nm

Z軸空氣軸承平台

• 行程：60–200 mm
• 重複性：最低 ±45 nm
• 特點：低摩擦、超高穩定性、專利空氣軸承設計

旋轉平台

旋轉精密平台

• 驅動方式：直驅力矩馬達
• 精度：±3 arc-sec
• 重複性：最低 ±0.2 arc-sec
• 推力範圍：0.21–15.16 Nm（連續）/ 高達 48.12 Nm（瞬間）

六自由度平台（Stewart Platform）

史都華平台

• 六軸控制（X/Y/Z + Pitch/Roll/Yaw）
• 行程：XY 100–300 mm / Z 6–206 mm
• 解析度：線性 ~5 nm，角度 0.01–0.04 arc-sec
• 適用於真空應用、雷射對位、光學系統模擬等

客製平台系統

• 龍門系統
• 空氣軸承定位台
• 雲台/真空/高精度解決方案
• 依應用提供 NANO、ULTRA、標準等級配置