產品資訊
豪捷
多孔性陶瓷真空吸盤（Porous Ceramic Chuck Table）
- 特點
- 結合多孔陶瓷 / 金屬 + 真空吸附 + 氣浮功能
- 適用於超薄、精密、不規則工件的穩定吸附
材質特性與優勢
- 高精度吸附：孔徑微米～次微米，適合局部吸附，不破真空
- 高強度、高硬度：氧化鋁高溫（>1500°C）燒結，具耐磨耗、耐腐蝕、不發塵
- 靜電消除：可選抗靜電陶瓷，同步吸附與靜電中和
- 吸附平整度高：維持被吸附物形狀不變，特別適合薄膜與晶片類
加工與客製規格
- 孔徑範圍：3μm ~ 12μm
- 平面度：最高達 0.003mm
- 孔隙率：35% ~ 40%
- 尺寸：單片最大 600x520mm，組合可達 2x2m 以上
- 底座材質：陶瓷、石材、不鏽鋼、鋁/鈦合金等
- 可選色系：黑、白、咖啡色
- 加熱設計：可內建加熱功能，最高可達 180°C
- 電阻值範圍：低電阻抗陶瓷可達 10⁴~10⁶ Ω/cm
客製與維修服務
- 支援客製形狀與尺寸設計
- 提供各品牌陶瓷吸盤維修與二次加工
主要應用領域
- 精密加工（非磁性超薄材料）
- 光電與電子檢測設備
- 印刷電路板（PCB）
- 光電 / 觸控面板、偏光板
- 薄膜、晶圓、鏡片、晶片貼膜/撕膜設備
特殊應用示例
- 異形工件吸附：具孔洞或不規則表面亦可穩定吸附