產品資訊
Renishaw
RENISHAW (雷尼紹) VIONiC 增量式光學尺系統
介紹
VIONiC™ 是 Renishaw 旗下性能最高的數位增量式光學尺，具備：
• 超低細分誤差 (SDE)
• 優異抗汙能力
• 精巧 All-in-One 讀頭設計
• 不需額外介面即可數位輸出
適用於高精度、
高速度與動態運動控制要求嚴格的應用環境，
如半導體設備、掃描量測、CNC 工具機等。
核心特性
| 項目 | 規格說明 |
|---|---|
| 讀頭尺寸 | 35 x 13.5 x 10 mm |
| 解析度範圍 | 最低 2.5 nm（VIONiCplus） |
| 最大速度 | 12 m/s（解析度 0.1 μm 時為 3.63 m/s） |
| SDE（細分誤差） | VIONiC：< ±30 nm；VIONiCplus：< ±10 nm |
| RMS 抖動 | < 1.6 nm |
| 時脈頻率 | 最高 50 MHz |
| 輸出訊號 | 直接數位差分正交輸出 |
| 參考原點 | 光學 IN TRAC™ 參考原點，具雙限位功能（線性用） |
| 最高工作溫度 | 70 °C |
- All-in-One 設計：內建數位訊號處理與細分技術，無須外接介面
- 先進動態訊號處理與光學濾波技術：大幅降低系統雜訊與誤差
- 自動增益/平衡/偏置控制：維持長期穩定性
- 內建 LED 指示燈：方便安裝與即時診斷
- 相容進階診斷工具 ADTi-100 + ADT View 軟體：支援遠端校準、訊號最佳化、限制與參考原點判斷等
光學尺相容性與選項
| 光學尺類型 | 型號 | 精度 (20°C) | 最大長度 | 膨脹係數 (μm/m/°C) |
|---|---|---|---|---|
| 不鏽鋼帶式 | RTLC20 | ±5 µm/m | 10 m↑ | 10.1 ±0.2 |
| 線性 / 弧形帶式 | RKLC20 | ±5 µm/m | 20 m↑ | 視基材而定 |
| 高精度不鏽鋼尺 | RSLM20 | 最佳 ±4 µm/5m | 5 m | 10.1 ±0.2 |
| 低膨脹 ZeroMet | RELM20 | ±1 µm/m | 1.5 m | 0.75 ±0.35 |
| 不鏽鋼環形尺 | RESM20 / REST20 | ±3.97 至 ±0.38 弧秒 | Ø52–550 mm | 15.5 ±0.5 |
- 高解析 + 高速應用：50 MHz 時脈，支援高達 2.5 nm 解析度
- 高精度系統：支援 ±1 μm/m 的 ZeroMet 光學尺
- 高穩定性運動控制：低速度漣波，適用精密掃描平台
- 空間有限設計機構：緊湊型一體化結構節省整合空間