Renishaw

TONiC™ 增量式光學尺

特點
超低細分誤差(SDE < ±30 nm),實現平滑、高精度運動控制
快速安裝,自動校正按鈕設定
多種版本支援:
TONiC 標準版
TONiC UHV:支援超高真空應用(10⁻¹⁰ Torr)
TONiC FS:通過 SIL2 / PLd 功能安全認證

介紹

TONiC 是 Renishaw 推出的
高性能超小型非接觸式增量式光學尺系統,
結合 Ti 介面可提供高達 10 m/s 的速度與 1 nm 的解析度,
專為要求嚴苛的線性與旋轉定位應用所設計。
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光學尺選項(線性 & 旋轉)

線性光學尺選配

型號 精度 柵距 熱膨脹係數 長度 特點
RTLC20(搭FASTRACK) ±5 µm/m 20 µm 10.1 ±0.2 µm/m/°C 最長10 m(可延長) 快速安裝更換式鋼帶導軌系統
RKLC20-S ±5 µm/m 20 µm 依基材 最長20 m(可延長) 精細鋼帶尺,貼合應用面設計
RELM20 / RELE20 ±1 µm(≤1m) 20 µm 0.75 ±0.35 µm/m/°C 最長1.5 m ZeroMet™ 低熱膨脹 Invar 材質
RSLM / RSLE / RSLC20 ±1.5 ~ 4 µm(≤5m) 20 µm 10.1 ±0.2 µm/m/°C 最長5 m 高精不鏽鋼尺
RGSZ20 / RGSN20 ±15 µm/m 20 µm 固定於基材 最長50 m+ 鍍金鋼帶,長行程、高彈性應用

旋轉光學尺選配(不鏽鋼環)

型號 精度(視直徑) 柵距 熱膨脹係數 尺寸範圍 特點
RESM / REST20 ±3.97 ~ ±0.38 弧秒 20 µm 15.5 ±0.5 µm/m/°C 52 ~ 550 mm 精密旋轉尺
REXM ±1 ~ ±2 弧秒(視直徑) 20 µm 15.5 ±0.5 µm/m/°C 52 ~ 417 mm 超高精度旋轉環(雙讀頭)

系統整合與應用優勢

  • 安裝公差寬鬆,降低對精密機構的依賴
  • 按鈕校正、簡化設定程序
  • 適合高速 / 超高解析度 / 極端環境(如真空腔體)應用
  • 應用產業:
    • 半導體/光學設備定位平台
    • 精密工具機與量測設備
    • 醫療診斷與顯微系統
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