產品資訊
Renishaw
TONiC™ 增量式光學尺
- 特點
- 超低細分誤差(SDE < ±30 nm),實現平滑、高精度運動控制
- 快速安裝,自動校正按鈕設定
- 多種版本支援:
- TONiC 標準版
- TONiC UHV:支援超高真空應用(10⁻¹⁰ Torr)
- TONiC FS:通過 SIL2 / PLd 功能安全認證
介紹
TONiC 是 Renishaw 推出的高性能超小型非接觸式增量式光學尺系統,
結合 Ti 介面可提供高達 10 m/s 的速度與 1 nm 的解析度,
專為要求嚴苛的線性與旋轉定位應用所設計。
光學尺選項(線性 & 旋轉)
線性光學尺選配
型號 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹係數 | 長度 | 特點 |
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RTLC20(搭FASTRACK) | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長10 m(可延長) | 快速安裝更換式鋼帶導軌系統 |
RKLC20-S | ±5 µm/m | 20 µm | 依基材 | 最長20 m(可延長) | 精細鋼帶尺,貼合應用面設計 |
RELM20 / RELE20 | ±1 µm(≤1m) | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 最長1.5 m | ZeroMet™ 低熱膨脹 Invar 材質 |
RSLM / RSLE / RSLC20 | ±1.5 ~ 4 µm(≤5m) | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長5 m | 高精不鏽鋼尺 |
RGSZ20 / RGSN20 | ±15 µm/m | 20 µm | 固定於基材 | 最長50 m+ | 鍍金鋼帶,長行程、高彈性應用 |
旋轉光學尺選配(不鏽鋼環)
型號 | 精度(視直徑) | 柵距 | 熱膨脹係數 | 尺寸範圍 | 特點 |
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RESM / REST20 | ±3.97 ~ ±0.38 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 ~ 550 mm | 精密旋轉尺 |
REXM | ±1 ~ ±2 弧秒(視直徑) | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 ~ 417 mm | 超高精度旋轉環(雙讀頭) |
系統整合與應用優勢
- 安裝公差寬鬆,降低對精密機構的依賴
- 按鈕校正、簡化設定程序
- 適合高速 / 超高解析度 / 極端環境(如真空腔體)應用
- 應用產業:
- 半導體/光學設備定位平台
- 精密工具機與量測設備
- 醫療診斷與顯微系統