次系統設備(客製)
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- 可搭配花崗岩/燒焊骨架/鋁擠
- 多種架構搭配:橋式/龍門同動/跳水檯
- 行程:可客製
- 可選用 鐵芯式/無鐵芯式線馬/螺桿/皮帶; 廠牌可指定
- 產業實績:生技、半導體、電路板、背動元件……等
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X-Y 精密線性對位平檯
- 精密交叉滾柱/可達奈米精度
- 高剛性
- 平面度穩定
- 光學尺
- 可另搭配θ軸
- 可選用 鐵芯式/無鐵芯式線馬
- 應用:AOI、雷射加工……等
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雙軸堆疊型X-Y STAGE
- 高速度
- 高精度
- 應用彈性
- 光學尺
- 可另搭配θ軸
- 可選用 鐵芯式/無鐵芯式線馬
- 防塵方式可搭配
- 應用:AOI、雷射加工……等
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Z-STAGE
- 精密交叉滾柱
- 高剛性
- 垂直徧擺±1㎛
- 螺桿(亦可搭配線馬)
- 光學尺
- 高荷重
- 應用:AOI、垂直對位貼合……等
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單軸 STAGE
- 高速度
- 高加減速
- 光學尺
- 可另搭配θ軸或真空吸盤
- 可選用 鐵芯式/無鐵芯式線馬/螺桿
- 多種類型,長度大小可客製
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