ALIO 奈米 Z軸定位平台

高精密載台

Patented NANO Z	為了滿足不斷提高的奈米級的計量和加工要求，ALIO摒棄傳統設計，設計並製造Z軸升降氣浮導軌平台產品，採用Renishaw的標準銦鋼編碼器，可將精度提高至小於100奈米。該系列產品加配重後可輕鬆地夾持住重型真空晶圓夾頭，在超過24毫米的行程上依然有奈米級精度。
Mechanical Bearing Z Stage	該系列Z軸升降平台的特點： ·線性或音圈馬達 ·高剛性交叉滾柱導軌 ·大推力馬達 ·線性編碼器 ·氣浮配重 ·馬達、導軌、編碼器和配重均在平台的近似中心線上 ·載物可直接安裝於平台表面或頂端以消除加裝支架帶來的缺點和共振等問題 ·出色的動態性能
Compact Voice Coil Z Stage	該系列Z軸升降平台的特點： ·設計緊湊，高度低 ·音圈馬達 ·高剛性交叉滾柱導軌 ·線性編碼器 ·氣浮配重 ·馬達、導軌、編碼器和配重均在平台的近似中心線上 ·載物可直接安裝於平台表面或頂端以消除加裝支架帶來的缺點和共振等問題 ·精度比Z軸楔平台提高4到8倍
Z Tracking Stages	Tracking Stages： ·Linear Motor, Voice Coil and Ballscrew Driven Designs ·Rapid Step-and-Settle (100um in 20msec to +/- 0.1um) ·Travel Range of 6-25mm ·Pneumatic, Magnetic and Spring Counterbalances
Linear Motor Counter Balanced Z Stage	該系列Z軸升降平台的特點： ALIO獨有的奈米精度設計線性伺服馬達高剛性交叉滾柱導軌線性編碼器通過雙無摩擦氣缸配重，氣缸與馬達、導軌、編碼器同軸，不會帶來Abbé誤差馬達、導軌、編碼器和配重均在平台的近似中心線上
Air Bearing Linear Motor Z Stages	該系列Z軸升降平台的特點： ·花崗岩底座確保卓越的平面度和直線度 ·線性伺服馬達 ·高剛性、奈米精度的氣浮導軌 ·線性編碼器 ·通過雙無摩擦氣缸配重，氣缸與馬達、導軌、編碼器同軸，不會帶來 Abbé誤差 ·如需要可調整配重支架以確保配重力通過負載中心轉移 ·馬達、導軌、編碼器和配重均在平台的近似中心線上
Vertical Mount XY Stage System	該系列Z軸升降平台的特點： ·線性或壓電伺服馬達 ·高剛性交叉滾柱導軌 ·線性編碼器 ·通過單或雙無摩擦氣缸配重